和远气体：一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置取得发明专利证书
来源：互联网 时间：
2023-05-07 16:58:06
【资料图】
和远气体5月7日公告，近日，公司取得了1项发明专利，该发明专利“一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置”是一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置。该装置系统保障了单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气的质量。
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